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真空检测可以使用多种仪器进行，主要包括以下几种。
1、真空计：这是进行真空检测的主要仪器，用于测量系统的真空度，真空计的种类很多，不同类型的真空计有不同的特点和应用范围，常见的真空计有热偶真空计、皮拉尼真空计（又称热导电真空计）、电离真空计等，热偶真空计是利用气体分子的热传导效应来测量真空度的；皮拉尼真空计则是利用气体分子与炽热表面之间的相互作用进行测量的；电离真空计则是通过测量气体分子电离产生的电流来测量真空度的，选择哪种真空计取决于具体的检测需求和检测环境。
2、真空泄漏检测仪：这是一种专门用于检测真空系统泄漏的仪器，它可以通过不同的方法，如压力衰减法、流量法等，来检测真空系统的泄漏情况。
3、其他相关仪器：除了上述两种主要仪器外，还有一些其他的仪器可以用于真空检测，如真空开关、真空传感器等，这些仪器可以辅助进行真空检测，提供更全面的信息。
进行真空检测时，可以根据具体需求和检测环境选择合适的仪器，如果需要更详细的信息或专业建议，建议咨询专业的技术人员或机构。